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硼离子注入对SiC-C/SiC复合材料抗氧化性影响

马国佳 , 张华芳 , 武洪臣 , 蒋艳莉 , 彭丽平 , 沈季雄 , 成来飞

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2005.03.012

通过等离子体源离子注入法(PSII),对带有SiC涂层的C纤维增强SiC基(SiC-C/SiC)复合材料进行硼离子注入,研究了硼离子注入对样品抗氧化性能的影响.通过俄歇电子能谱检测分析了样品成份的深度分布.在空气中1300℃的高温条件下进行了氧化实验.通过XRD和扫描电镜分别对样品的化学组成和表面形貌进行了表征,对样品的力学性能进行了测试.结果表明,对SiC-C/SiC复合材料注入硼有助于提高其抗氧化性能.经过离子注入试样的弯曲性能与未经离子注入试样相比变化很小.

关键词: SiC-C/SiC , 离子注入 , 复合材料 , 等离子体源

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