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蒋松涛 , 吴孟强 , 吴勇 , 张树人
材料导报
薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选.系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(AlN、ZnO、PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用.
关键词: 体声波 , 谐振器 , 滤波器 , 压电薄膜
