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蒋文文 , 李弢 , 王磊
金属功能材料
作为稀土氧化物的一种,氧化铒具有优良的光学和电学性能,具有广阔的技术应用前景.本文综述了Er2O3薄膜的各种应用,描述了Er2O3薄膜的各种制备方法及研究现状,并对各种制备方法的优缺点进行了评述,最后对Er2O3薄膜的应用和制备方法作了总结.
关键词: 氧化铒 , 薄膜 , 应用 , 制备方法 , 研究进展
