蒋婧思
,
李强
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163111.1055
为了在 TFT 工厂的设计、建设及运营阶段采取有针对性的节能降耗措施，有效降低器件制备过程中的能耗，本文根据我院多年从事 TFT 生产线节能评估工作的经验数据，针对不同技术路线，选取具有代表性的 TFT-LCD 及AMOLED 生产线，并对其能耗进行对比分析，以讨论不同技术路线对 TFT-LCD 及 AMOLED 显示器件生产能耗的影响。分析结果表明：阵列制备是最主要用能工序，其制备复杂程度可采用光罩次数(Mask)表征。随着光罩次数的增加，器件制造对电力、氮气、新鲜水等能源及耗能工质的需求呈急剧增长：采用10-13Mask 技术的 LTPS 及 AMOLED 显示器件，其综合能耗达到 a-Si 及 Oxide 技术路线的约350％之多；在不同技术路线下，电力均为最主要的用能需求，其消耗量占总能耗的80％~87％。能耗的增加导致用能成本的大幅上升。在国家大力提倡绿色经济的环境下，建议各大厂商采取科学有效的能耗管控措施，以降低能源消耗及用能成本，实现产业的健康可持续发展。
关键词:
TFT
,
LTPS
,
IGZO
,
AMOLED
,
综合能耗
,
单位产品能耗
