董瑜亮闫旭波赵升升宫骏孙超
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00754
利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上沉积了Ti-Al-N涂层, 研究了沉积工艺参数对沉积态涂层的成分及相组成的影响, 以及在不同退火处理条件下各涂层组织的变化. XRD结果表明, 通过改变沉积工艺参数可以控制沉积态涂层的成分, 使涂层经退火后生成Ti2AlN相. 适当成分的沉积态涂层退火生成Ti2AlN相所需的最低退火温度为650℃, 其它沉积态涂层在700℃或更高温度下退火才能生成Ti2AlN相; 退火过程中可能发生的化学反应为: AlTi3N+5Al→TiN+2Al3Ti和AlTi3N+3Al→Ti2AlN+Al3Ti. 此外, 延长退火时间可使相同工艺下的沉积涂层生成的Ti2AlN相含量略有增加. 利用SEM对涂层进行了分析, 测量了涂层的摩擦系数.
关键词:
电弧离子镀
,
Ti2AlN coating
,
high temperature annealing
,
friction coefficient
