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膜厚影响SnO2厚膜型气敏元件敏感特性的研究

傅军 , 董名友

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.039

采用丝网印刷技术制备不同膜厚Sn02厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度,结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同,阻温曲线也不同.要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件,调整控制膜厚和及其热处理温度至关重要.

关键词: SnO2气敏元件 , 膜厚 , 热处理 , 气敏特征