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溅射方法对FePt:Ag颗粒膜磁性能及微观结构的影响

程晓敏 , 杨晓非 , 董凯峰 , 李佐宜

功能材料

分别采用共溅射和多层膜溅射方法制备了FePt:Ag颗粒膜.样品的磁性能和微观特性分别用振动样品磁强计(VSM)、磁力显微镜(MFM)和透射电镜(TEM)进行了表征.研究结果表明:多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜能在较低的退火温度下发生有序化相变;而共溅射制备的FePt:Ag颗粒膜经过相同的退火条件后,具有更高的矫顽力,及更细、分布更均匀的晶粒和磁畴结构.

关键词: FePt , Ag 颗粒膜 , 溅射方法 , 磁性能 , 微观结构