黄美东
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许世鹏
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刘野
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薛利
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潘玉鹏
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范喜迎
表面技术
采用电弧离子镀技术,以W18Cr4V高速钢为基体,调整基体负偏压,制得多个复合TiAlN薄膜试样,研究了基体负偏压对薄膜微观组织形貌、物相组成、晶格位向、硬度、厚度和沉积速率的影响.结果表明,过高或过低的负偏压会使得膜层表面不平整,显微硬度下降.当负偏压为200 V时,膜层的沉积速率最大；负偏压为150 V时,有利于薄膜(111)晶面的择优取向生长,且TiAlN膜的硬度最高.
关键词:
电弧离子镀
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TiAlN薄膜
,
负偏压
