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聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面改性与键合是微流控芯片制作中的关键技术之一.本文比较分析了PDMS常用表面改性方法的优缺点,利用电晕放电仪在常温环境下产生的氧等离子体实现了对PDMS表面改性及不可逆键合,优化了电晕放电仪的表面处理参数,重点测试了PDMS分别与PDMS和PMMA之间的键合强度.并与紫外照射、表面活化剂等表面改性方法得到的键合进行了强度比较.键合强度测试结果表明:常温下氧等离子体表面改性效果略逊于真空环境中的氧等离子体表面处理,但是其键合强度达到700KPa,高于其它表面改性方法的键合强度.

关键词: PDMS , 表面改性 , 键合 , 微流控

一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作

董鹏 , 苑伟政 , 乔大勇

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.008

针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构.引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性.63Ni放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据.结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出.

关键词: MEMS , 同位素63Ni微电池 , 平板型能量转换结构 , 剥离工艺 , 源活度

一种新型基于MEMS的同位素微电池的研究

孙磊 , 苑伟政 , 乔大勇

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.015

介绍了同位素微电池的工作原理及结构组成.阐明了其从工作原理上区别于原有的核电池,采用和太阳能电池光生伏特相似的辐生伏特效应.对同位素微电池的工艺作了详尽的介绍.提出了使用垂直侧壁方孔阵列的能量转换结构,相比传统的同尺寸开口且等深的倒三角直槽型或倒金字塔型的能量转换结构表面积增大了120%以上;引入了电镀区这一新结构,增强了同位素微电池的工作稳定性.

关键词: MEMS , 放射性同位素微电池 , 辐生伏特 , 垂直侧壁方孔阵列 , 电镀区

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一种用电晕放电仪实现PDMS改性与键合方法

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