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陶瓷微器件的软刻蚀成形研究进展

苏博 , 吴有智 , 孟军虎 , 吕晋军

材料科学与工程学报

软刻蚀技术是基于传统光刻蚀技术提出的一系列技术,包括微模塑、转移微模塑和毛细微模塑等,其共同特点是利用弹性模作为微结构转移元件,复制其他方法制备的原始模板的微结构,再用此弹性模进行微结构的成形.因其成本低廉、操作过程简单,为陶瓷微器件的制备提供了一种先进的净成形加工技术.其工艺步骤主要包括:弹性模的制备、浆料或陶瓷预聚体的制备、注模、干燥(交联固化)、脱模和烧结.本文按照制备工艺综述了软刻蚀技术成形陶瓷微器件的研究进展,着重讨论了影响微成形的关键因素,并对将来的研究方向进行了展望.

关键词: 软刻蚀 , 陶瓷微器件 , 弹性模

化学成分对铁酸盐烧结液相流动性的影响

吴胜利 , 贝纪承 , 朱娟 , 苏博 , 黄威

钢铁研究 doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0963.20140317

铁酸盐液相是高碱度烧结矿固结的基础,适宜的流动性有利于烧结液相有效黏结和保证料层透气性.为了明晰化学成分对其液相流动性的影响,采用微型烧结法研究了Fe2 O3与CaO的摩尔比为1.0、1.5和2.0时铁酸盐的液相流动特征,以及SiO2对这3类铁酸盐液相流动性的影响规律,在此基础上,探讨了促使高流动性铁酸盐生成条件下烧结原料中黏附粉化学成分的选取原则.结果表明,铁酸盐液相流动性随其中CaO量的增加而升高;随着SiO2含量的增加,摩尔比为1.0的铁酸盐液相流动性呈现先增加后降低的趋势,且在高硅低碱度下仍具有较高的流动性;摩尔比为1.5的铁酸盐液相流动性变化规律与高钙铁酸盐相似,但SiO2的质量分数大于5.5%、二元碱度低于3.26时,液相流动性则降低;摩尔比为2.0的铁酸盐液相流动性随SiO2含量的增加呈单调降低趋势.

关键词: 铁酸盐 , 液相流动性 , 液相成分

离心辅助微模塑法制备Fe-Ni合金微流道

周晗 , 郭铁明 , 孟军虎 , 苏博

材料科学与工程学报

采用离心辅助微模塑方法,制备了Fe-Ni合金微流道.着重考察了分散剂含量和pH值对浆料分散性的影响,结果表明当分散剂含量为1.5 wt%和pH=4时,Fe-Ni乙醇基浆料的分散性最好.用聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制带有微结构的原始硅模板,在PDMS弹性模上采用离心注模方法进行浆料的微成形.最终制备出微结构完整、表面无裂纹、致密的Fe-Ni合金微流道,其最大线性收缩率为12.7%,致密度为97.3%,说明离心辅助微模塑法是一种可行的微器件制备方法.

关键词: 微模塑 , 离心注模 , Fe-Ni合金 , 微流道

白云石替代蛇纹石的烧结配矿结构

陈绍国 , 吴胜利 , 张国良 , 朱娟 , 樊佳欣 , 苏博

钢铁

在铁矿粉SiO2含量不断升高的背景下,针对烧结面临高硅蛇纹石停配而产生的烧结矿产质量下降的技术问题,采用微型烧结装置和烧结杯对白云石替代蛇纹石后的适宜配矿结构进行了研究.微型烧结试验研究结果表明,在化学成分一定的条件下,白云石替代蛇纹石后,因烧结液相流动性的降低而黏结效果变差,致使烧结体固结强度明显下降.烧结杯试验研究结果表明,用高液相流动性铁矿粉替代低液相流动性铁矿粉后,烧结成品率和转鼓强度分别升高0.98%和2.26%,烧结利用系数提高9.71%,而采用大粒级铁矿粉以提高烧结混合料黏附粉偏析碱度的优化配矿措施,使烧结成品率和转鼓强度分别升高2.10%和3.37%,烧结利用系数提高8.25%.

关键词: 铁矿粉 , 烧结 , 蛇纹石 , 白云石 , 液相流动性 , 配矿结构

太阳电池用非晶碳薄膜在黑硅衬底上的生长

苏博 , 姚宁 , 鲁占灵 , 路钟杰 , 关瑞红

材料导报

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在黑硅和抛光单晶硅片衬底上生长非晶碳薄膜,其中变量为CH4流量,分别为10sccm、14sccm、18sccm、22sccm、26sccm.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射分析(XRD)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱表征了非晶碳薄膜的结构和形貌特征.结果表明,在650℃时随着CH4流量的逐渐增加,在平整的非晶碳薄膜上C-C的sp2相团簇颗粒的直径逐渐变大.AFM测试结果显示,非晶碳薄膜表面的平均粗糙度(Ra)为0.494nm.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , 黑硅 , 非晶碳薄膜 , 太阳电池

原位观察MgO对烧结高温特性影响研究及应用

裴元东 , 吴胜利 , 赵志星 , 安钢 , 苏博 , 潘文

钢铁 doi:10.13228/j.boyuan.issn0449-749x20130618

烧结矿靠液相固结形成,烧结过程中液相的形成和流动对烧结矿质量起着重要的作用;而随着资源的劣质化,烧结矿TFe品位呈现下降趋势。与Al2O3和SiO2等相比,MgO属于在烧结中主动性配加的成分,其大小影响着烧结液相的熔点、流动性和烧结矿品位。针对京唐混合料,首次采用高温共焦显微镜原位观察了MgO质量分数对烧结液相流动性的影响。研究发现,与不含MgO的混合料相比,配加质量分数为1.7%~2.0%的MgO后,混合料的液相初始形成和大量形成温度均高出50℃以上;液相流动速率也显著降低;烧结基础特性测试表明,混合料中MgO质量分数从2.3%降到0.3%后,流动性指数从0.7增大到1.9。在京唐烧结的工业实践表明,烧结实现烧结矿MgO质量分数从2.0%降至1.5%后,烧结矿指标有所改善。

关键词: 烧结 , MgO , 基础特性 , 高温共聚焦 , 混合料

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