花聚团
,
杨德仁
,
席珍强
,
倪利红
,
阙端麟
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2006.06.003
利用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)技术,成功制备了单晶硅太阳电池.在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P-N结、热氧化、电极烧结)采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷.初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11%、开路电压为564.6 mV、短路电流密度为30.7 mA/cm2的太阳电池.
关键词:
快速热处理(RTP)
,
硅
,
太阳电池
