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掺杂ZnO功能薄膜研究新进展

艾常涛 , 李珍

材料导报

结合当前掺杂ZnO功能薄膜的制备方法、工艺条件,综述了不同掺杂元素对ZnO薄膜的结构、电学、光学性能、气敏特性以及应用领域等方面的影响,并展望了ZnO功能薄膜的发展趋势.

关键词: ZnO薄膜 , 掺杂 , 特性 , 禁带宽度