刘振华
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臧春雨
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贾志旭
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苏晶
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唐秀杰
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王传志
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郝新焱
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刘海南
人工晶体学报
采用Bridgman方法在氩气氛保护的单晶炉内生长出了Ce3+掺杂的以及Ce3+和Eu3+共掺的CaF2晶体,利用Ce2O3和E2O3分别与氢氟酸反应合成了CeF3和EuF3掺杂试剂,对掺杂晶体生长的起始原料-特定组成的CaF2、CeF3、EuF3混合物进行了高温氟化处理,确定了掺杂晶体的物相,讨论了掺杂浓度对晶体紫外波段透过率的影响.此外,还初步分析了Ce3+和Eu3+共掺的CaF2晶体作为紫外滤光材料的可行性.
关键词:
稀土掺杂
,
Bridgman方法
,
光学特性
,
紫外滤光
臧春雨
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曹望和
,
石春山
材料导报
介绍了半导体制造业专用设备,紫外光刻设备所使用的光学材料.介绍了该材料的选择,研究现状,该材料制造工艺技术的创新,以及与材料制造技术相配套的技术发展状况,同时分析了国际市场现状及该技术的发展趋势.
关键词:
半导体制造业
,
157nm紫外光刻技术
,
CaF2晶体
,
双折射
臧春雨
,
曹望和
,
石春山
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.02.002
本文采用Bridgman方法生长了KMgF3单晶.晶体生长参数:在1130℃、1.5×105Pa Ar气氛条件下,以4.5mm/h的速度下降,下降结束后,以1.5℃/min的降温速度降温到室温,获得了直径10mm,长40mm 的单晶,测定了所获单晶的X射线粉末衍射图谱,讨论了真空条件与惰性气氛条件以及氧含量的控制对晶体生长的影响.
关键词:
KMgF3晶体
,
Bridgman方法
,
氧含量
