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Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的疲劳影响因素研究进展

张兴国 , 刘军 , 陈春 , 胡道甫

材料导报

简述了PZT铁电薄膜在制备和应用当中遇到的问题.围绕提高薄膜的疲劳性能,介绍了PZT铁电薄膜近年来在热处理、底电极、过渡层和掺杂等方面的研究进展,并分析了它们对材料电性能和疲劳性能的影响.最后提出了展望.

关键词: PZT , 铁电性 , 溶胶凝胶 , 掺杂

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