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MPCVD装置基片台改进对金刚石薄膜均匀性的影响

田宇迪 , 汪建华 , 胡晖 , 翁俊

硬质合金 doi:10.3969/j.issn.1003-7292.2014.05.006

通过对实验室自主研发的10 kW新型微波等离子体装置基片台的改进,获得了更高的基片温度,更长的保温时间以及更均匀的基片温度.用直径为80 mm的硅片在改进后的基片台上用MPCVD法沉积大面积金刚石膜.在微波功率为5 kW,沉积气压为5.6 kPa环境下基片中心获得900℃的基片温度,沉积时间8h.实验后对硅片中央区域,距离中心20 mm区域,距离基片中心35 mm区域进行对比分析,通过SEM显示三个区域金刚石膜的表面形貌差异很小,通过拉曼光谱观察到在1 332 cm-1处代表金刚石相的特征峰无明显的变化从而确定可金刚石膜在质量上的均匀性,最后对金刚石的厚度表征发现所观察的区域内膜厚变化保持在0.2~0.4 μm之间且金刚石呈现柱状生长模式.

关键词: 基片台改进 , 大面积金刚石膜 , MPCVD , 金刚石薄膜均匀性

自维持电弧放电模式下碳纳米管的制备及机理

胡晖 , 唐东升 , 蔡岳红 , 陈巧莲

材料科学与工程学报

通过实现不同条件下的电弧放电,用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对阴极沉积物中碳管的形貌和微结构进行表征,得到碳管的形貌和微结构与放电条件之间的一些对应关系.提出整体温度较低的沉积物边缘具有较高的局部温度、较大的碳离子流,并提出阴极上存在边缘的场致冷阴极发射和边缘以内的热阴极发射,它们分别起到引起边缘硬壳的形成、为碳纳米管的生长提供必要条件的作用.通过深入理解电弧放电过程,从而制备高质量具有特定结构的碳纳米管.

关键词: 电弧放电 , 碳纳米管 , 微结构

环境敏感性超支化聚合物的合成及药物的控制释放

胡晖 , 曹中林 , 范晓东

高分子材料科学与工程

用原子转移自由基聚合(ATRP)对氯甲基苯乙烯一步法得到了不同支化度的超支化聚合物(PCMS),以PCMS为引发剂,再次运用ATRP聚合甲基丙烯酸-N,N-二甲氨基乙酯(DMA),得到核为超支化聚合物,外层为环境敏感性聚合物PDMA的功能高分子.对其结构进行了红外光谱和1H-NMR的表征.采用紫外可见分光光度仪对包载了小分子药物的超支化环境敏感性高分子进行了药控释放研究,结果证实,通过pH值能有效地控制其包合药物的释放行为.

关键词: 环境敏感性超支化聚合物 , 聚甲基丙烯酸-N,N-二甲氨基乙酯 , 对氯甲基苯乙烯 , 药物控制释放体系

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