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射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*

胡社军 , 温伟祥 , 曾鹏 , 吴起白 , 谢光荣 , 黄拿灿 , 胡显奇 , 盛钢 , 盛忠

材料导报

利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.

关键词: , 射频/直流磁控溅射 , 不锈钢/陶瓷薄膜 , 组织 , 性能

电弧离子镀Ti-Al-Ce-N多元多层膜的制备及性能研究

汝强 , 胡社军 , 黄拿灿 , 胡显奇 , 盛钢 , 王明

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2005.01.010

采用Ti-Ce,Ti-Al合金靶,利用电弧离子镀技术在高速钢基底上制备Ti-Al-Ce-N涂层,研究了Ce及Al对TiN系涂层的界面结合强度的影响,同时辅以显微硬度、抗氧化特性的测定,结合TiN涂层的组织结构,讨论了Al、Ce对TiN系涂层的改性.试验表明:TiN涂层中添加微量Ce和Al,可以明显改善膜基结合强度,并且有助于形成(111)和(222)择优取向,使膜层致密提高抗氧化能力.

关键词: 稀土元素 , 多元合金强化 , TiN , 结合力

钛合金表面电弧离子镀TiAlN涂层的抗高温氧化性能研究

汝强 , 胡社军 , 黄拿灿 , 赵灵智 , 邱秀丽 , 胡显奇

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2007.01.011

运用电弧离子镀技术,采用热等静压Ti05Al0.5合金靶在航空用钛合金TC11基片上制备了TiAlN防护涂层,并采用SEM、AES、XPS等方法研究了涂层在空气中的抗高温氧化性能.结果表明,涂层发生了选择性氧化,外层生成富Al层而内层形成富Ti层;同时进行了涂层的室温干摩擦试验,结果表明,TC11钛合金基体同GCr15钢珠的磨损表现出黏着磨损的特征,磨痕宽度约100 μm,而TiAlN涂层通过提高表面硬度改善了钛合金的黏着磨损状况.

关键词: TiAlN涂层 , 电弧离子镀 , TC11钛合金 , 抗氧化性 , 磨损性能

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