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Mo电极上磁控反应溅射AlN薄膜

熊娟 , 顾豪爽 , 胡宽 , 吴小鹏

稀有金属材料与工程

采用射频反应磁控溅射法在Mo电极上沉积了AlN薄膜.研究了溅射气压、靶基距、溅射功率、衬底温度及N_2含量等不同工艺条件对AlN薄膜择优取向生长的影响.用XRD分析了薄膜的择优取向,用原子力显微镜、高分辨场发射扫描电镜表征了薄膜的形貌.实验结果表明,靶基距和溅射气压的减小,衬底温度及溅射功率的升高有利于AlN(002)晶面的择优取向生长.氮氩比对AlN薄膜择优取向生长影响较小,N_2≥50%(体积分数)时均可制得高c轴择优取向的AlN薄膜.经优化工艺参数制备的AlN柱状晶薄膜适用于体声波谐振滤波器的制备.

关键词: AlN薄膜 , 射频磁控反应溅射 , c轴择优取向 , Mo电极

纤维增强复合材料宏观性能预测与可靠度分析

刘万雷 , 常新龙 , 张晓军 , 胡宽

玻璃钢/复合材料

针对纤维增强复合材料细观性能的不确定性,采用基于桥联模型的Monte-Carlo方法,预测了复合材料宏观性能分布规律,并从宏、细观两个角度计算了四边简支复合材料层合板的可靠度.研究结果表明,复合材料宏观弹性模量、剪切模量服从正态分布,拉伸强度服从威布尔分布.利用细观和宏观参数计算得到的复合材料层合板可靠度结果趋于一致,表明直接利用细观参数计算复合材料可靠度是可行的.

关键词: 桥联模型 , Monte-Carlo方法 , 宏细观性能 , 可靠度

应用桥联模型预测复合材料吸湿老化剩余强度

常新龙 , 李正亮 , 胡宽 , 孙涛

复合材料学报

采用试验与理论相结合的方法,研究了玻璃纤维/环氧树脂复合材料的吸湿老化剩余强度,测试了基体的吸湿性能,对老化前后基体、纤维及其复合材料的拉伸性能进行了试验研究.根据纤维和基体性能测试数据,应用桥联模型计算了复合材料的吸湿老化剩余强度,计算结果与试验结果一致.结果显示:在小吸湿率条件下,利用桥联模型能够准确预测复合材料的破坏演化规律及其最大剩余强度.当主承力层破坏由纤维控制时,由湿老化引起的纤维强度的下降直接导致复合材料最大拉伸强度的下降;当破坏由基体控制时,影响复合材料吸湿剩余强度的主要因素是基体硬化及强度的下降.较小吸湿率对纤维与基体的界面粘结强度影响有限,界面破坏不是层合板破坏的主要因素.

关键词: 复合材料 , 吸湿 , 桥联模型 , 剩余强度

Mo电极形貌对AIN薄膜择优取向生长的影响

熊娟 , 顾豪爽 , 胡宽

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.018

采用射频磁控溅射方法在不同形貌的Mo电极上制备了(002)择优取向的AIN薄膜.采用XRD、FESEM表征了Mo电极及AIN薄膜的结构、表面形貌及择优取向.结果表明,Mo电极的形貌影响AIN薄膜的择优取向生长,在较高溅射气压下沉积的Mo电极晶粒细小、分布均匀,有助于AIN薄膜(002)择优取向生长.

关键词: 磁控溅射 , Mo电极 , AIN薄膜 , 择优取向

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