何善传
,
贾庆明
,
苏红莹
,
马艾华
,
陕绍云
,
胡天丁
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.015.013
综述了近几年氮氧化硅复合材料、氮氧化硅薄膜材料和介孔氮氧化硅材料的研究与发展现状。着重介绍了氮氧化硅薄膜材料的发光特性和折射率可调特性，及其不同的制备方法。同时介绍了介孔氮氧化硅材料和Si3 N4／Si2 N2 O、SiC／Si2 N2 O及BN／SiNOf 三种应用较多的氮氧化硅复合材料的研究现状。并对氮氧化硅材料的研究与应用进行了展望。
关键词:
氮氧化硅
,
复合
,
薄膜
,
介孔
,
特性
,
制备方法
