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掺Er-Al2O3薄膜发光特性的研究

肖海波 , 张峰 , 张昌盛 , 程新利 , 王永进 , 陈志君 , 林志浪 , 张福民 , 邹世昌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.006

通过离子束辅助沉积(IBAD)在热氧化SiO2上沉积Al2O3薄膜,在120keV下注入5×10115cm-2Er离子,Ar气氛下773~1273K退火1h.低温下测试PL谱线,随退火温度升高,发光强度上升.973K退火下发光强度特别低,并观察到Si衬底的1140nm峰.光透射谱表明几乎在所有的测试范围内尤其在1530nm处973K退火样品的透射谱强度最强,波导损耗最低.1530nm发光强度随退火温度的变化跟发光强度的变化相反.说明Er离子在514.5nm泵谱吸收界面σ跟Al2O3的光吸收损耗有一定关系.

关键词: 掺Er-Al2O3薄膜 , PL谱 , 光透射谱

离子注入制备掺Er富硅氧化硅材料光致发光

张昌盛 , 肖海波 , 王永进 , 陈志君 , 程新利 , 张峰

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.003

利用离子注入方法制备了掺Er富硅氧化硅材料,用XRD,TEM方法研究材料微观结构,并测量了样品的光致发光(PL),研究了发光强度随测量温度的变化.试验表明:在1173K以上退火,注入硅集聚,形成φ(2-4)nm的纳米晶硅(nc-Si),纳米晶硅外面包裹非晶硅(a-Si),注入的Er离子分布在非晶硅中.通过非晶硅与硅纳米晶相耦合,非晶硅吸收部分硅纳米晶对Er的激发能量,降低了Er的激发效率;在T> 150K时,激发态Er与非晶硅间的能量背迁移降低了Er的发光效率.

关键词: Er , 富硅氧化硅 , 光致发光 , 温度淬灭

光通信用厚膜SOI材料的制备与研究

程新利 , 林志浪 , 王永进 , 肖海波 , 张峰 , 邹世昌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.007

利用 SIMOX技术和硅外延工艺制备了厚膜 SOI材料.采用 Secco液腐蚀、椭圆偏振仪 (SE)、 扩展电阻 (SRP)等技术对材料的性能进行了表征,分析了外延硅层中缺陷产生的主要原因.外延层 电阻率纵向分布均匀 ,其缺陷主要来源于衬底缺陷延伸和表面的不平整.用制备的厚膜 SOI材料 制作了脊型光波导并完成了光损耗测试实验 ,得到了传输损耗为 0.4dB/cm的波导结构.

关键词: 厚膜 SOI材料 , 缺陷 , 光波导

光波导计算中全矢量-罚项有限元方法新解

曹共柏 , 林志浪 , 肖海波 , 张峰

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.05.022

数值求解光波导模式的方法,矢量元方法应用比较普遍,能够消除伪模,但由于矢量元的构造和求解过程比较烦琐,而用传统的节点有限元方法求解全矢量波动方程时,在得到物理模式的同时,也出现了伪模.本文在传统的罚项节点有限元方法的启发下,从麦克斯韦方程组本身的物理意义出发,导出了伪模的产生源,并对传统的罚项做了改正,大大提高了数值解的质量;尽管没有彻底消除伪模,它相对于矢量元方法优越的地方,体现在解(本征值)的精度,模场的特性,和高的数值稳定性等方面.

关键词: 纤维与波导光学 , 有限元方法 , 罚项 , 伪模

三苯胺-螺硅芴共聚物的合成

肖海波 , 冷冰 , 田禾

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.02.006

通过钯盐催化的Suzuki偶联反应,将2,2′-二溴螺硅芴与三苯胺二硼酸共聚得三苯胺-螺硅芴聚合物. 其中2,2′-二溴螺硅芴是以邻二溴苯为原料,经2步偶联,硝化,还原,取代共5步反应制得;三苯胺二硼酸是以三苯胺为原料,经溴化,锂化,再与硼酸三甲酯反应制得. 单体和共聚物的结构经核磁共振氢谱、质谱、红外光谱测试技术确证. 凝胶渗透色谱法测得共聚物的分子量Mn=7 014,Mw=9 577,分散度1.36. 螺硅芴的引入提高了共聚物的溶解性和热稳定性. 共聚物的玻璃化转变温度(Tg)为158.22 ℃. 由循环伏安法测得的电化学性质表明,共聚物具有可逆的氧化过程和较低的离子势(-5.47 eV,与三苯胺接近).

关键词: 螺硅芴 , 三苯胺 , 共聚物 , 合成

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