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医用X射线高速靶钼基体黑化涂层材料及其组成的研究

徐庆元 , 肖李鹏 , 熊国刚 , 李恩平

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2002.04.017

研究了不同涂层材料及组成对医用X射线管工作时的散热能力、管内真空度及涂层高温稳定性的影响,提出了一种最佳的涂层材料及组成.

关键词: 散热能力 , 真空度 , 反应磁控溅射 , 高温稳定性

一种高效沉积反应室的设计

熊国刚 , 肖李鹏

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.10.016

利用Arrhenius公式对化学气相沉积的反应进行研究,设计了一种低压热化学气相沉积(LPCVD)高效沉积反应室.在料管的下方与衬底的上方间安放漏斗型筛板,在工艺中有效地提高了氢气的分压,并有利于衬底温度的提高,加快了沉积速率.通过对设计前后钨薄膜的金相组织对比分析后发现,较高的沉积速率可以使沉积薄膜晶粒细小,结构致密,但薄膜与衬底附着力较差,提高衬底温度可有效地提高薄膜与衬底附着力,以弥补因较高的沉积速率带来的薄膜与衬底附着力较差的问题,提高薄膜质量.

关键词: 低压热化学气相沉积 , 高效沉积 , 反应室 , 设计

Al2O3与TiO2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响

肖李鹏 , 熊国刚 , 李恩平

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2003.06.007

讨论了在采用离子镀获得Al_2O_3与TiO_2混合涂层工艺过程中，真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响。

关键词: 反应离子镀 , 结合强度 , 沉积速率

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