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电阻热效应对力式微固态测风传感器测量精度的影响

杜利东 , 赵湛 , 庞程 , 方震 , 韩有君 , 翟文业 , 刘泳宏

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.04.005

实验结果相符.

关键词: 测风 , MEMS , 热效应 , 电桥