管世兵
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殷伟琦
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严俊
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顾顺超
材料导报
主要研究多晶硅太阳能电池片工业制绒的酸腐蚀过程,腐蚀液是由HNO3、HF和H2 SiF6组成的混合液,未添加其他试剂作为反应缓释剂；采用SEM和紫外分光光度计对多晶硅片表面制绒形貌进行观察和检测分析.实验过程中,按照工业生产的实际模型,首先研究确定了最佳腐蚀时间为2 min,之后主要研究了酸腐蚀过程中的H2SiF6浓度对多晶硅表面制绒效果的影响,优化得到H2SiF6的最低含量为2％,并确定最佳腐蚀工艺条件,为进一步回收利用腐蚀废液提供依据.
关键词:
多晶硅
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酸腐蚀时间
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氟硅酸
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制绒效果
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反射率
