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PLD法制备PZT-YBCO结构的铁电薄膜的研究

吴平 , 彭润玲 , 符欣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.04.007

本文利用脉冲准分子激光在LaAlO3单晶基片上淀积了YBCO和Zr/Ti为94/6的PZT铁电薄膜,并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了该多层膜的晶相结构,测量了PZT的铁电性能和介电特性,讨论了PZT/YBCO薄膜的制备工艺,以及工艺条件对晶相结构和薄膜性能的影响.

关键词: PZT薄膜 , YBCO薄膜 , 激光脉冲淀积