符晓荣
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宋志棠
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多新中
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林成鲁
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武光明
无机材料学报
以硝酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜,结果表明,胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份;薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关.同时,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.
关键词:
薄膜
,
thin films
符晓荣
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武光明
,
宋志棠
,
多新中
,
林成鲁
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.021
以硝酸镁为起始原料, 胶棉液为添加剂, 在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜, 结果表明, 胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份; 薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关. 同时, 用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.
关键词:
薄膜
,
溶胶-凝胶法