林涛
,
孙艳辉
,
段春艳
,
章大钧
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.04.027
本文采用# 3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭.实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验.采用金相显微镜(Metalloscope)和扫描电子显微镜(SEM)对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少.定向凝固过程中杂质从硅锭的底部朝着硅锭的顶部方向聚集.用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)对硅锭杂质含量进行分析,结果显示,效果最好的实验保温时间是30分钟,并由此可以推断保温时间越长,硅锭中的杂质含量越少.
关键词:
保温时间
,
定向凝固
,
多晶硅
,
提纯
