孙维连
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程越
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王会强
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李新领
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孙铂
材料保护
为寻求真空磁控溅射ZrN膜耐蚀性与其溅射工艺间的规律，在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面以不同的工艺参数真空磁控溅射了系列ZrN膜。通过中性盐雾试验确定了不同工艺参数所得ZrN膜的耐蚀性等级。结果表明：ZrN膜耐蚀性随N2流量的增加先增加，但超过15mL／min后，膜的耐蚀性反而下降；ZrN膜耐蚀性随反应温度升高而增强；ZrN膜的耐蚀性随反应时间的增加越来越好，但超过15min后，膜的耐蚀性不再增强；以ZrN膜的耐蚀性为依据，最佳溅射工艺参数为N2流量15mL／min，反应时间15min，反应温度200℃。
关键词:
真空磁控溅射
,
工艺参数
,
ZrN膜层
,
耐蚀性
