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固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究

胡宗倩 , 谢凯 , 李德湛 , 程玉龙

材料导报

采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质LiPON薄膜.结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V.

关键词: LiPON , 固态电解质 , 薄膜 , 射频磁控溅射