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升温速率对烧结ITO靶材密度和组织的影响

程念 , 刘家祥

稀有金属材料与工程

采用化学共沉淀法制备ITO粉体前驱物,在600℃煅烧粉体前驱物4h,得到粒径为20～30 nm的ITO粉体.添加1％的聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成型制备ITO靶材素坯,设置不同的升温速率,在1550℃氧气氛下烧结素坯,得到ITO靶材.研究了烧结过程升温速率对ITO靶材密度和微观组织的影响.结果表明...

关键词: ITO靶材 , 升温速率 , 烧结法 , 相对密度 , 微观结构