程念
,
刘家祥
稀有金属材料与工程
采用化学共沉淀法制备ITO粉体前驱物,在600℃煅烧粉体前驱物4h,得到粒径为20～30 nm的ITO粉体.添加1％的聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成型制备ITO靶材素坯,设置不同的升温速率,在1550℃氧气氛下烧结素坯,得到ITO靶材.研究了烧结过程升温速率对ITO靶材密度和微观组织的影响.结果表明,在低温阶段(0～500℃)升温速率为3℃/min,高温阶段(500～1550℃)升温速率为8℃/min时,ITO靶材相对密度为99.58％,孔洞极少,近乎完全致密,且靶材宏观上无裂纹.
关键词:
ITO靶材
,
升温速率
,
烧结法
,
相对密度
,
微观结构
