秦聪祥
,
曾鹏
,
胡社军
,
汝强
,
吴键
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.06.005
利用等离子体辅助电孤沉积技术制备了不同成分的TiAlSiN多元薄膜,并研究了Si含量对薄膜组织结构、显微硬度和耐磨性的影响.XRD物相分析表明:薄膜主要由AlN和TiN组成.随着膜层中Si含量的增加,薄膜的结构由明显的柱状晶转变为致密的玻璃态结构,显微硬度逐渐提高,耐磨性能得到明显改善.
关键词:
TiAlSiN
,
电弧沉积
,
显微硬度
,
耐磨性
秦聪祥
,
曾鹏
,
胡社军
,
汝强
钛工业进展
doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2006.02.007
分别利用真空电弧沉积技术与等离子体辅助真空电弧沉积技术在不锈钢片、高速钢片和单晶硅片上沉积TiAlSiN多元薄膜,通过X射线衍射和扫描电镜对采用两种方法制备的薄膜物相及表面形貌进行了分析比较,测定了高速钢片上薄膜的显微硬度,进行了耐磨性实验.结果表明,采用离子束辅助沉积制备的薄膜,有(200)面的择优取向,薄膜的表面形貌得到改善,硬度和耐磨性提高.
关键词:
离子束辅助沉积
,
TiAlSiN
,
电弧离子镀
秦聪祥
,
胡社军
,
汝强
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2007.03.001
利用等离子体辅助电弧沉积技术在高速钢片和单晶硅片P(100)上沉积ZrAlN多元薄膜,利用扫描电镜、能谱分析、X射线衍射对薄膜进行了结构和形貌表征,利用显微硬度计、摩擦磨损试验仪对薄膜的性能进行了检测,并研究了铝含量对薄膜组织结构、形貌、显微硬度及耐磨性能等的影响.结果表明:ZrAlN多元薄膜有(111)面的择优取向,随Al含量的增加,(111)衍射峰的位置向小角度偏移,当Al原子分数大于3%时,薄膜中出现AlN相;随着Al含量的增加,薄膜的硬度和耐磨损性能先增加后降低,在Al原子分数为3%时,获最高硬度1570 HV0.5N和最小磨痕宽度93μm,这是薄膜中Al含量不同引起晶体结构变化造成的.
关键词:
ZrAlN涂层
,
离子束辅助沉积
,
电弧离子镀
,
高速钢片
,
单晶硅片
,
性能
