秦纬
,
刘建军
,
左胜利
,
于迎春
,
郝郑平
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00931
采用不同的醇溶剂, 以六亚甲基四胺为沉淀剂, 以TiCl3为前驱体, 通过溶剂热的方法控制合成出纳米级的锐钛矿型、金红石型和板钛矿型的二氧化钛. 通过XRD、TEM、UV-Vis光谱和XPS能谱对其进行了表征, 研究了醇的种类、 六亚甲基四胺的量对二氧化钛相组成及光催化性能的影响. 结果发现, 以甲醇为溶剂, 酸性条件有利于生成锐钛矿相, 碱性条件有利于生成金红石相和板钛矿相. 溶剂热条件下可以得到氮掺杂的TiO2-xNx. 光催化降解甲基橙活性结果表明锐钛矿和板钛矿混晶具有最好的光催化活性.
关键词:
溶剂热
,
titania
,
phase composition
,
photocatalysis
秦纬
,
刘建军
,
左胜利
,
于迎春
,
郝郑平
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.05.031
;采用不同的醇溶剂,以六亚甲基四胺为沉淀剂,以TiCl3为前驱体,通过溶剂热的方法控制合成出纳米级的锐钛矿型、金红石型和板钛矿型的二氧化钛.通过XRD、TEM、UV-Vis光谱和XPS能谱对其进行了表征,研究了醇的种类、六亚甲基四胺的量对二氧化钛相组成及光催化性能的影响.结果发现,以甲醇为溶剂,酸性条件有利于生成锐钛矿相,碱性条件有利于生成金红石相和板钛矿相.溶剂热条件下可以得到氮掺杂的TiO2-xNx.光催化降解甲基橙活性结果表明锐钛矿和板钛矿混晶具有最好的光催化活性.
关键词:
溶剂热
,
二氧化钛
,
相组成
,
光催化
李丽
,
秦纬
,
薛建设
,
彭志龙
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.01.006
在TFT-LCD的生产过程中,阵列金属被腐蚀是造成TFT-LCD产品缺陷(亮线、薄亮线等)的常见原因.文章对实际生产过程中阵列基板的一种典型腐蚀性缺陷,应用扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子柬(FIB)和能谱仪(EDS)等工具,并且结合BO(Business Objects)、CIM(Computer Integrated Manufacturing)等数据统计软件进行了分析.确定了造成缺陷的原因是栅金属暴露在含氯元素的酸性气体中被腐蚀,还确定了酸性气体的泄露源,并且推断出其形成机理:腐蚀发生在栅金属刻蚀(Gate Etch)工艺和多层膜沉积(Multi-Deposition)工艺之间,随后的多层膜沉积工艺的抽真空过程促进了缺陷的进一步形成.另外,针对发生此种缺陷时的应急措施进行了探讨.
关键词:
TFT-LCD
,
阵列
,
腐蚀
,
缺陷分析
,
SEM
