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金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究

石彦超 , 李彬 , 李佳君 , 左勇刚 , 白旸 , 刘浩 , 孙占峰 , 马殿理 , 陈广超

人工晶体学报

对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析.在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分.通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌.通过在反应气体...

关键词: 化学气相沉积 , 射频喷射等离子体 , 金刚石 , Ni-N掺杂