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新型AFM原子分辨率导电探针技术研究

张欢 , 马宗敏 , 谢艳娜 , 唐军 , 石云波 , 薛晨阳 , 刘俊 , 李艳君

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.022

目的:制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针NaCl(001)表面,分析其性能。结果自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜( MExFM)的磁性探针来测试材料的表面磁信息。

关键词: 导电薄膜 , Si探针 , 原子分辨率 , 磁交换力显微镜

TiO2纳米管的阳极氧化制备及改性应用研究综述

马宗敏 , 谢艳娜 , 石云波 , 唐军 , 张欢 , 王芳 , 赵敏 , 曲章 , 刘俊

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.09.011

详细调研了新型TiO2纳米管在国内外的研究现状,根据阳极氧化法制备纳米管的电解液成分发展历程,重点介绍了在不同电解液体系中制备TiO2纳米管阵列的具体条件,并对其所生成TiO2纳米管的形貌和结构进行了比较。同时详细叙述了TiO2纳米管在染料敏化太阳能电池、光催化剂、传感器、超级电容器等领域的应用情况,并针对TiO2纳米管带隙窄、光催化率低等问题,通过改变制备条件、贵金属沉积、复合半导体、离子掺杂等方法对TiO2纳米管进行改性,提高TiO2纳米管性能。介绍了其在相应领域改性的研究进展。研究表明,经过修饰的TiO2纳米管,其光电特性、催化特性、传感特性及灵敏度和稳定性等都得到了一定的改善。最后提出了目前存在的问题,展望了TiO2纳米管应用的发展趋势。

关键词: TiO2 纳米管阵列 , 阳极氧化 , 改性应用 , 太阳能电池 , 传感器

电容式硅微机械陀螺仪结构设计及仿真

赵幸娟 , 王瑞荣 , 石云波 , 刘俊 , 唐军

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.019

通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计.该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度.驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q值,且具有一定的解耦特性.文中通过仿真分析得到了结构的各阶频率,使陀螺驱动模态和检测模态固有频率匹配,验证了结构的合理性.结合现有加工工艺水平进行了加工,并验证了其高灵敏度特性.

关键词: 硅微机械陀螺 , 电容检测 , 结构设计

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