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张溪文 , 莫建良 , 瞿浩明 , 韩高荣
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.04.004
通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到硅微晶粒数量众多、分布弥散且晶粒大小在数十至数百纳米的硅／非晶硅复合薄膜，使入射光产生漫散射进而有效降低镜面反射所造成的光污染。
关键词: 镀膜玻璃 , 漫散射 , 硅微晶
瞿浩明 , 沈鸽 , 张溪文
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.03.017
利用普通低压化学气相沉积技术在玻璃衬底上制备了大面积的纳米硅薄膜.不同温度下薄膜暗电导率的测试研究表明,薄膜的室温暗电导率随成膜温度的升高而增加,相应的电导激活能降低.热激活隧道击空机制可以较好地解释纳米硅薄膜特殊的电学性能.原位后续热处理研究表明,延长热处理时间以及采用低温成膜、高温后续退火的热处理方法均能有效提高其室温暗电导率.
关键词: 纳米硅薄膜 , 暗电导率 , 化学气相沉积
