相炳坤
,
左敦稳
,
黎向锋
,
徐锋
,
李多生
,
陈荣发
人工晶体学报
金刚石膜具有特别优异的性能,在高技术领域有着极为广泛的应用.本文采集1985年到2007年中国金刚石膜技术专利文献,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量和定性分析,揭示出国内金刚石膜技术已处于较成熟阶段,机械加工和半导体电子领域是其潜在的重点应用领域,涂层技术和定向或单晶生长是其重点开发工艺,国内申请人在专利数量上占优,国外申请人在专利质量上见长,并对国内外重要申请人的研发能力和研发重点进行对比分析,最后提出了一些发展金刚石膜技术的专利战略.
关键词:
金刚石膜
,
专利数据库
,
专利分析
,
竞争
,
专利战略
陈荣发
,
左敦稳
,
李多生
,
相炳坤
,
赵礼刚
,
王珉
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2006.01.005
采用高功率直流电弧等离子体喷射化学气相沉积工艺,制备了不同厚度的自支称金刚石厚膜.实验发现,等离子体炬阳极喷嘴积碳是沉积过程中最突出的问题之一.从理论和实验两个方面研究了阳极积碳产生的原因,并通过激光拉曼光谱分析了碳球的结构和成分.结果表明,碳球由金刚石层、混合层和最外面的石墨层构成.详细分析了甲烷浓度、冷却水温度、放电电弧的局部高温、阳极喷嘴的表面质量对积碳形成的影响,并提出了改进措施.
关键词:
阳极碳球
,
结构与成分
,
等离子炬
,
工艺改进
李多生
,
左敦稳
,
陈荣发
,
相炳坤
,
赵礼刚
,
王珉
稀有金属材料与工程
采用直流等离子体CVD法制备了金刚石膜,利用X射线衍射、光学显微镜、扫描电镜、激光拉曼光谱等技术研究了金刚石膜的微观组织,晶粒择优取向生长过程.结果表明:开始形核时,晶粒随机无择优生长;对基体表面氢刻蚀预处理,有利于晶胚形核长大.甲烷浓度对金刚石膜晶粒择优取向生长有重要影响:甲烷浓度较低时,金刚石膜(100)面择优生长,形成以(111)为主的八面体晶体,并且可以制取中心和边缘均匀、高质量光学级自支撑金刚石膜,但生长速率慢,效率低.同时也发现金刚石膜存在空位、孔洞等缺陷.
关键词:
化学气相沉积
,
直流等离子体
,
金刚石膜
,
微观结构
相炳坤
,
左敦稳
,
李多生
,
陆海泉
,
陈荣发
人工晶体学报
利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500 μm金刚石膜.用千分尺测量膜径向厚度以判断膜厚均匀性,用SEM观察膜的表面形貌,用拉曼谱仪测量膜的表面纯度,通过分析电镜形貌和拉曼谱峰的分布特点来判断金刚石膜的质量均匀性.结果表明,在优化工艺条件下,直流电弧等离子体喷射法设备可以在球面Mo衬底上生长出厚度和质量都比较均匀的半透光的自支撑球面金刚石厚膜.
关键词:
金刚石膜
,
直流电弧等离子体喷射法
,
均匀性
,
SEM
,
拉曼
陈荣发
,
左敦稳
,
李多生
,
相炳坤
,
赵礼刚
,
王珉
金属学报
采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的无裂纹自支撑金刚石厚膜。实验中观察到在金刚石厚膜生长过程中出现了形貌不稳定性，其程度随甲烷浓度的不同而变化。从理论和实验两个方面对这种不稳定性进行了讨论, 认为直流电弧等离子体的高温造成碳源高饱和度是生长不稳定性的根本原因。 实验结果表明，在沉积金刚石厚膜时，为了稳定地获得高质量的厚膜，甲烷浓度不宜过高。
关键词:
金刚石厚膜
,
null
,
null
陈荣发
,
左敦稳
,
李多生
,
相炳坤
,
赵礼刚
,
王珉
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.10.017
采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的无裂纹自支撑金刚石厚膜.实验中观察到在金刚石厚膜生长过程中出现了形貌不稳定性,其程度随甲烷浓度的不同而变化.从理论和实验两个方面对这种不稳定性进行了讨论,认为直流电弧等离子体的高温造成碳源高饱和度是生长不稳定性的根本原因.实验结果表明,在沉积金刚石厚膜时,为了稳定地获得高质量的厚膜,甲烷浓度不宜过高.
关键词:
金刚石厚膜
,
生长稳定性
,
甲烷浓度
,
直流等离子喷射
,
化学汽相沉积
相炳坤
,
左敦稳
,
黎向锋
人工晶体学报
本文采集1975年到2008年金刚石涂层工具技术1100多件世界专利文献,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量、定性和引证分析.分析表明:(1)在生长工艺、设备及膜/基结合力等技术方面都已比较成熟,金刚石涂层工具已处于产业化阶段,国内外已有批量产品销售;(2)美日等国不仅重视该技术的基础研究和应用基础研究,而且更重视原创技术开发和知识产权的保护;而我国明显表现出严重的重论文轻专利现象;(3)美日等国绝大多数专利为公司开发,原创性专利多,申请量大,实施率较高;而我国大学申请多,企业申请少,专利的实施率较低.我国研发机构应规划适当专利战略,加强研发机构整合,提高专利的授权量,多申请外国专利.
关键词:
金刚石涂层工具
,
专利分析
,
专利数据库
,
专利战略
相炳坤
,
左敦稳
,
黎向锋
功能材料
类金刚石(DLC)膜是由sp3键和sp2键组态的碳混合组成,已广泛应用到电子、光学、机械等领域.采集1975～2007年国内外DLC技术专利,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量和定性分析,揭示出国内外DLC技术已处于成熟阶段;半导体电子、光电信息、机械加工、耐磨部件以及医疗器材是其重点应用领域;世界上前10位申请人基本上是美国、日本和德国的跨国企业;在申请数量和质量上国外申请人在我国都占很大优势;目前国内DLC市场基本为国外企业垄断;最后提出了一些发展我国DLC技术的专利战略.
关键词:
类金刚石膜
,
专利分析
,
专利数据库
,
竞争
,
专利战略
