胡社军
,
温伟祥
,
曾鹏
,
吴起白
,
谢光荣
,
黄拿灿
,
胡显奇
,
盛钢
,
盛忠
材料导报
利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.
关键词:
司
,
射频/直流磁控溅射
,
不锈钢/陶瓷薄膜
,
组织
,
性能
汝强
,
胡社军
,
黄拿灿
,
胡显奇
,
盛钢
,
王明
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2005.01.010
采用Ti-Ce,Ti-Al合金靶,利用电弧离子镀技术在高速钢基底上制备Ti-Al-Ce-N涂层,研究了Ce及Al对TiN系涂层的界面结合强度的影响,同时辅以显微硬度、抗氧化特性的测定,结合TiN涂层的组织结构,讨论了Al、Ce对TiN系涂层的改性.试验表明:TiN涂层中添加微量Ce和Al,可以明显改善膜基结合强度,并且有助于形成(111)和(222)择优取向,使膜层致密提高抗氧化能力.
关键词:
稀土元素
,
多元合金强化
,
TiN
,
结合力
