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徐晓虹 , 张英 , 吴建锋 , 白占良
硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2003.05.007
采用Sol-Gel法制备出掺杂SiO2,TiO2及ZrO2改性的γ-Al2O3膜,并通过SEM,EPMA,AFM等测试手段对膜结构和性能进行表征.探讨了制膜工艺条件对膜性能及结构的影响.制备的Al2O3复合膜膜厚为1～2μm,结构均匀无缺陷.
关键词: 复合陶瓷膜 , 制备 , 表征
