疏敏
,
王学生
,
代晶晶
,
戚学贵
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.06.002
采用磁控溅射的方法,两个单靶依次在Si (100)基底上循环5次溅射制备了Zn/Sb多层复合纳米薄膜,并研究了固定调制周期为40nm时,Zn和Sb的调制比分别为1:1、3:2和4:1的三种情况下,Zn/Sb复合薄膜的Seebeck系数、电导率和功率因子在160K -250K温度范围内随温度的变化情况.采用XRD、AFM对其结构和表面形貌进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,无大颗粒,呈现出晶面择优生长的现象.实验结果表明:当调制比为4:1时,Zn/Sb薄膜的功率因子最高,且其最大值达到在174K时的7543.54μW/mK2,但随着温度的升高,其值迅速的下降,变化趋势和幅度都很明显.
关键词:
Zn/Sb薄膜
,
磁控溅射
,
Seebeck系数
,
电导率
代晶晶
,
王学生
,
疏敏
,
戚学贵
材料导报
选取单晶硅作为隔热衬底,Bi和Sb材料作为靶材,采用磁控溅射技术溅射制备多层复合纳米薄膜.研究了当固定调制周期为40nm,Bi和Sb的调制比分别为1∶1、3∶2、4:1和1∶4时,Bi/Sb超晶格复合薄膜的Seebeck系数、电导率和功率因子在160～250K温度范围内随温度的变化.发现当调制比为1∶4时,Bi/Sb薄膜的功率因子明显高于其它3种情况.
关键词:
磁控溅射
,
纳米薄膜
,
Bi/Sb
,
Seebeck系数
,
电导率
,
功率因子
