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利用激光刻蚀技术提高Ba_0.5Sr_0.5Co_0.8Fe_0.2O_3-δ膜的透氧能力

申梓刚，路朋献，胡行

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.09474

利用激光刻图机对Ba_0.5Sr_0.5Co_0.8Fe_0.2O_3-δ(BSCFO)透氧膜表面进行刻蚀，以提高膜表面的比表面，改善膜的氧...

关键词: 透氧膜 , laser ablation , specific surface , oxygen permeation flux