陈新亮
,
田淙升
,
赵慧旭
,
杜建
,
张德坤
,
魏长春
,
耿新华
,
赵颖
,
张晓丹
材料导报
主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(Transparent conductiveoxides,TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展.主要包括溅射&湿法刻蚀技术、等离子体刻蚀玻璃衬底技术、等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、修饰层改善ZnO薄膜表面技术、梯度杂质掺杂技术、复合特征尺寸生长设计以及直接生长绒面结构ZnO薄膜技术和宽光谱ZnO薄膜生长设计等.此外,对薄膜太阳电池中的先进光管理(Light management)结构设计及新材料应用进行了探讨和展望.
关键词:
太阳电池
,
绒面结构
,
ZnO-TCO薄膜
,
光管理
,
薄膜技术
