李戈扬
,
韩增虎
,
田家万
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张流强
,
顾明元
稀有金属材料与工程
研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应.W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度.结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距随调制周期的减小而相互接近,在多层膜中形成交变应力场,从而使薄膜得到强化.
关键词:
W/Mo纳米多层膜
,
界面结构
,
超晶格
,
超硬效应
田家万
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韩增虎
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赖倩茜
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戴嘉维
,
李戈扬
功能材料
正确测量涂层的硬度等力学性能一直是硬质涂层生产和研究中亟待解决的问题.本文提出的采用力学探针对涂层进行两步压入的实验方法可以在未知涂层厚度的条件下通过大载荷逐步加载展示出涂层厚度对载荷选择的要求,从而正确选择加载载荷进行小载荷压入实验.由此方法得到的涂层硬度值和其它力学性能指标具有准确和可靠的特点.
关键词:
两步压入法
,
硬质涂层
,
硬度
,
弹性模量
韩增虎
,
田家万
,
戴嘉维
,
张慧娟
,
李戈扬
功能材料
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列CrNr薄膜,并利用EDS和XRD表征了薄膜的成分和相组成,采用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量.研究了氮分压对薄膜成分、相组成和力学性能的影响.结果表明,随氮分压的升高,薄膜的沉积速率明显降低;薄膜中的氮含量增加,相应地,相组成从Cr+Cr2N过渡到单相Cr2N,再逐步经Cr2N+CrN过渡到单相CrN.并在Cr:N原子比为1:2和1:1时,薄膜的硬度出现极值(HV27.1GPa和HV26.8GPa),而薄膜的弹性模量则在Cr2N时呈现350GPa的最高值.
关键词:
磁控溅射
,
CrNr薄膜
,
氮分压
,
力学性能
田家万
,
韩增虎
,
虞晓江
,
赖倩茜
,
李戈扬
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2002.06.003
提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法,并用此方法研究了(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系.结果表明,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加, 并在调制周期为1.3nm时达到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,表明(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜存在超硬度和超模量效应.
关键词:
两步压入法
,
薄膜
,
纳米多层膜
,
超硬效应
