李占奎
,
巩伟
,
谭继廉
,
魏计房
,
王柱生
,
韩励想
,
田大宇
,
于民
,
王金延
,
张录
原子核物理评论
介绍了由中国科学院近代物理研究所和北京大学微电子研究院联合研制的双面硅多条探测器的初步测试过程及测试结果。测试内容包括：探测器的电特性、能量分辨率、二维能谱、条间串扰（crosstalk）。在-25 V全耗尽偏压下,各条的反向漏电流均小于10 nA,对于5.486 MeV的α粒子,正面各条的能力分辨率在1.5%左右,条间串扰在6%左右;背面各条能量分辨率稍差,在3%左右,其条间串扰在1%左右。同时对进口的Micron BB1直流耦合单边读出的双面硅条探测器做了相同测试,并进行了性能对比。
关键词:
双面硅条探测器
,
电性能
,
能量分辨率
,
条间串扰
陈治宇
,
吕知秋
,
张锦文
,
金玉丰
,
李婷
,
田大宇
,
王颖
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.028
本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能.针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地.通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温度等因素,希望得到对PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能的优化.本文证实了PECVD双层膜具备良好的驻极体性能,有望广泛应用于微器件中.
关键词:
驻极体
,
SiO2/Si3N4双层膜
,
PECVD
