材料期刊网

Ti-O薄膜的溅射刻蚀微形貌表面对内皮细胞生长的影响

田仁来 , 黄楠 , 陈俊英 , 冷永祥 , 王露

功能材料

利用磁控溅射合成具有一定特性的Ti-O薄膜,并采用Ar离子溅射刻蚀该薄膜表面.运用原子力显微镜(AFM),X射线衍射(XRD)对刻蚀后的薄膜表面微观形貌、微结构进行表征.结果表明:薄膜的结构未发生变化,表面的粗糙度减小.进一步的人脐静脉内皮细胞(HUVEC)种植实验表明:表面粗糙度的变化对内皮细胞的贴附、生长与增殖有很大的影响.

关键词: 磁控溅射 , 刻蚀 , Ti-O薄膜 , 表面形貌 , 内皮细胞