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大尺寸电磁加热的氮化物MOCVD反应室温度场的仿真与优化

李志明 , 江海鹰 , 李金屏 , 甘小冰 , 胡仕刚

人工晶体学报

本文通过对电磁加热八英寸晶片的立式氮化物MOCVD反应室建立数学模型,利用有限元法,对传统的加热结构进行了优化.为提高晶片温度分布的均匀性,本文提出了矩形槽和圆环段形槽两种不同槽结构的基座,通过对这两种槽结构基座的优化分析发现,与传统用的基座相比,这两种槽结构的基座改变了传统基座中的传热方式和不同方向的传热速率,从而提高了晶片温度分布的均匀性,这有利于提高薄膜生长的质量.

关键词: MOCVD , 有限元 , 均匀性