金冬月
,
张万荣
,
谢红云
,
沈珮
,
胡宁
,
甘军宁
,
李佳
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.05.017
提出非均匀指间距结构功率SiGe HBTs的版图设计用以改善热稳定性.模拟和实验结果均表明,与传统的均匀指间距结构相比,非均匀指间距结构HBT的峰值结温和温度分布非均匀性均得到显著改善.上述改善归功于非均匀指间距结构HBT中心指间距的增加,从而有效阻止热流由外侧指流向中心指处.此外,与均匀指间距结构器件相比,其热阻改善13.71%,热退化功率水平提高22.8%.因此,模拟和实验均证明采用非均匀指间距结构HBT的版图设计可有效改善功率HBTs热稳定性.
关键词:
SiGe
,
HBT
,
热稳定性
沈珮
,
张万荣
,
谢红云
,
金冬月
,
李佳
,
甘军宁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.003
本文对多发射极条(指)微波功率GeSi HBT进行了设计、制造和测试,并就测试结果对电流处理能力进行了研究.实验结果表明,对20～80指的GeSi HBT,发射极单位长度的电流密度I0在1.67～1.06A/cm之间变化.随发射极条数的增加,I0逐渐减少,分析认为这是由发射极条之间的热耦合引起有源区的温度非均匀分布而导致的.并且通过测试所得到的I0值,证明多指GeSi HBT可通过选择合适的发射极条数、条长和发射区面积获得更高的电流处理能力.
关键词:
锗硅异质结双极晶体管
,
热耦合效应
,
电流处理能力
