彭观良
,
李抒智
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
刘世良
,
周国清
,
周圣明
,
徐军
,
干福熹
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.014
采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.
关键词:
白宝石
,
γ-LiAlO2
,
气相传输平衡
,
GaN
,
衬底
彭观良
,
周圣明
,
周国清
,
李抒智
,
王银珍
,
邹军
,
苏凤莲
,
刘世良
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.002
本文采用导向温梯法(TGT)生长[0001]方向的白宝石晶体,利用气相传输平衡(VTE)技术对晶体表面进行处理,发现双面抛光的C面白宝石晶片高温下与富锂(Li2O蒸气)气氛发生反应,表面生成一层γ-LiAlO2,随着VTE反应温度从750℃下降到730℃,γ-LiAlO2晶核的颗粒也随着减小,在730℃时已在1μm以下,经稀盐酸(HCl)腐蚀后形成多孔的表面,此方法有望制备出用于外延GaN的多孔衬底.
关键词:
白宝石
,
温梯法
,
气相传输平衡
,
多孔表面
,
GaN
,
多孔衬底
彭观良
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
刘世良
,
周国清
,
周圣明
,
徐军
,
干福熹
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.004
由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γ-LiAlO2单晶有望成为GaN外延衬底材料.本文首先使用提拉法生长出了尺寸达φ45×50mm3的γ-LiAlO2单晶,然后采用Ga2O3作为掺杂剂,仍用提拉法生长出了三种不同掺镓浓度的LiAl1-xGaxO2(x=0.1,0.2,0.3)晶体,并用X射线粉末衍射(XRPD)分别对晶体及坩锅中剩余的熔体的成份进行了表征.结果表明LiAl-xGaxO2(x=0,0.1,0.2,0.3)晶体归属于γ-LiAlO2结晶结构,Ga3+离子部分地取代Al3+离子,发生分凝且分凝系数小于1.
关键词:
晶体生长
,
提拉法
,
γ-LiAlO2
,
LiAl1-xGaxO2
,
掺质
王银珍
,
李宁
,
段萍萍
,
周良华
,
贺松华
,
孙旭炜
,
李炜
,
初本莉
,
何琴玉
人工晶体学报
采用水热法制备了β-Ga2O3粉体,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱和光致发光谱等测试手段对合成样品的结构、形貌和发光性能进行了表征.结果表明:所得样品为单斜晶系的β-Ga2O3粉体;在800 nm飞秒激光下,β-Ga2O3粉体产生上转换发光现象,出现了394 nm,430 nm,448 nm,458 nm,470 nm,476nm,525 nm,552 nm和652 nm上转换发射峰,实现了紫、蓝、绿和红上转换发光.
关键词:
水热法
,
β-Ga2O3
,
上转换发光
彭观良
,
周国清
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
李抒智
,
杨卫桥
,
周圣明
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.019
本文描述使用温梯法(TGT)生长(1102)方向的白宝石单晶,应用X射线双晶摇摆曲线(XRC)测定了晶体内部的完整性,再利用KOH熔体腐蚀出样品的r面(1102)上的位错蚀坑,借助扫描电子显微镜(SEM)进行观察,发现r面白宝石的位错腐蚀坑呈等腰三角形,并且有台阶状结构,并分析了位错的成因.
关键词:
温梯法
,
r面白宝石
,
位错
,
化学腐蚀
,
腐蚀坑
,
缺陷
徐军
,
周国清
,
邓佩珍
,
司继良
,
钱小波
,
周永宗
,
王银珍
,
周圣明
,
朱人元
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.05.013
温度梯度法(TGT)生长的Al2O3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,晶体在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(φ110×80mm3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即"两步法"退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高.
关键词:
Al2O3晶体
,
去色
,
脱碳
,
退火
王银珍
,
彭观良
,
刘世良
,
李抒智
,
邹军
,
周圣明
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.011
蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底.本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响.结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好.
关键词:
蓝宝石
,
衬底
,
表面处理
刘世良
,
周圣明
,
王银珍
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.016
研究了提拉法生长的镓酸锂单晶的生长习性和结晶质量.晶体表面呈乳白色且表面粗糙.通过光学显微镜、四晶X射线衍射、透射光谱和电感耦合等离子体发射光谱对样品进行了表征,结果表明,在(001)面的抛光样品上存在三种缺陷: [110]和[-110]方向的十字线、[010]方向排列的气泡包裹物以及平行于(010)面的界面,界面的产生起因于(010)晶面的滑移;晶体的结晶质量从顶部到底部逐渐下降,这是由于在生长过程中氧化锂的挥发导致熔体成分偏离化学计量比造成的.
关键词:
单晶
,
镓酸锂
,
提拉法
,
衬底
刘世良
,
李抒智
,
周圣明
,
王银珍
,
彭观良
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.013
通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h.利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11-20)和γ面(1-102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2,且后者的择优取向好于前者.腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果.退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善,白宝石a面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2,两者都出现颗粒长大现象.
关键词:
γ-LiAlO2/α-Al2O3
,
复合衬底
,
气相传输平衡
,
腐蚀
,
退火
