王银华
,
杨军
,
陈建军
,
王建中
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.04.011
用柠檬酸盐溶液浸渍沉积法在腐蚀铝箔上制备出SrTiO3-Al2O3复合氧化膜,研究了处理液中Ti和Sr离子浓度与柠檬酸含量、浸渍处理时间、退火温度以及退火时间对铝箔比容的影响.实验结果表明最佳工艺参数为:处理液中Ti和Sr离子浓度分别为3×10-3mol/L,浸渍时间为10分钟,退火温度在550℃、退火时间为1小时.另外,实验结果也表明,处理液中柠檬酸含量对比容的影响不大.使用该工艺,可使腐蚀铝箔的比容提高15%.该复合膜有希望用作电解电容器的电介质.
关键词:
铝阳极箔
,
SrTiO3
,
氧化膜
,
比容
