王钻开
,
陆德仁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.011
研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高 g加速度传感器,进行接近 2万 g加速度峰值的 一系列落杆冲击实验,都未见共振响应.同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰. 该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为 2× 103g～ 2× 105g的加速度传感器.
关键词:
冲击加速度
,
固有频率
,
阻尼
宗登刚
,
王钻开
,
陆德仁
,
王聪和
,
陈刚
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.005
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷－挠度曲线,来研究低应力 LPCVD氮化硅薄 膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式. 对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏 模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.低应力 LPCVD氮化硅薄膜的研究结果 :杨氏模量为 (308.4± 24.1) Gpa , 残余应力为 (252.9± 32.4 )Mpa, 弯曲强度为 (6.2± 1.3) Gpa.
关键词:
微机械
,
悬桥
,
LPCVD
,
氮化硅
,
杨氏模量
,
残余应力
,
弯曲强度
