陕皓
,
张晓波
,
刘丽
,
李守春
,
王连元
,
翟微微
功能材料
采用化学气相沉积法制备了多壁碳纳米管（MWNTs）,并向ZnO粉体中掺入不同比例的MWNTs,利用扫描电子显微镜（SEM）对合成物进行了表征,以该合成物为敏感材料制成了旁热式结构的气体传感器,通过元件对乙醇气敏特性的测试表明,MWNTs的掺杂显著地提高了ZnO气敏材料对乙醇气体的灵敏度,当乙醇气体浓度为5.0×10-5时,元件的灵敏度为46,响应恢复时间分别为4和20s,并测试了传感器对于常见干扰气体的灵敏度,表明器件具有良好的选择性。
关键词:
ZnO
,
多壁碳纳米管
,
气体传感器
刘丽
,
张彤
,
王连元
,
田云霞
,
范会涛
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.06.016
设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于体积分数为50×10~(-6)CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10~(-6) CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器.
关键词:
低功耗
,
微结构
,
CO
,
气体传感器
薄小庆
,
刘唱白
,
何越
,
刘丽
,
刘震
,
王连元
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.08.016
采用水热法制备表面多孔的纳米棒状氧化锌.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对样品的结构和形貌进行表征.以表面多孔的棒状氧化锌作为敏感材料制成旁热式结构的气体传感器,并对样品在不同温度下对乙醇气体的灵敏度进行了测试.结果表明:在280℃下,样品对100×10-6乙醇气体的灵敏度约为27.9,响应恢复时间分别约为3s和10s,此结果约是表面无孔的纳米棒状氧化锌在相同条件下对乙醇气体灵敏度的4.8倍,并且是相同条件下干扰气体中灵敏度最大的丙酮气体的3.1倍,表明该器件具有良好的选择性.
关键词:
氧化锌
,
水热法
,
乙醇
,
气体传感器
