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于旭东 , 孙广年 , 张会选 , 吕进 , 王进学 , 孙亮
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.046
采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件.
关键词: 大直径Al2O3晶体 , 温度梯度 , 晶体开裂
