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热灯丝CVD金刚石膜的微结构和形貌对其电子性质的影响

王万录 , 廖克俊 , 孔春阳 , 方亮 , 王蜀霞

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.024

利用热灯丝CVD法在硅衬底上合成出了金刚石膜。金刚石膜的质量和电子性质由扫描电 子显微镜、拉曼谱、阴极发光及霍尔系数测量来表征。实验结果表明,沉积条件对金刚石膜电子性 质和质量有重要影响。载流子迁移率随甲烷浓度增加而减少,但场发射随其增加而增强。压阻效 应随微缺陷增多而降低。异质外延金刚石膜压阻因子在室温下100微形变时为1200,但含有大量 缺陷的多晶金刚石膜压阻因子低于200。这是由于薄膜中缺陷态密度增加,并依赖于膜结构的变 化。

关键词: 金刚石膜 , 热灯丝 , 场发射 , 迁移率

催化剂晶体结构对碳纳米管生长影响的微观解释

耿晓菊 , 王蜀霞 , 冯明海 , 饶早英 , 何小珊 , 汪海涛

材料导报

通过对催化剂晶体结构的分析,讨论了温度对催化剂金属晶格结构的影响,温度对催化剂中碳的溶解度与扩散速度的影响;催化剂金属中其他元素的加入对碳活度的影响,以及析出能量、晶体界面等对碳纳米管生长的影响.温度在1000 ℃左右时,催化剂金属铁具有面心立方结构,碳管产量比在其它温度下高;催化剂金属中加入其他可提高碳原子活度的元素,可促使碳从催化剂金属中析出,有助于提高碳管的产量.

关键词: 碳纳米管 , 催化剂 , 温度 , 析出能量 , 晶体界面

Si(100)上异质外延金刚石膜生长及其应用研究

王蜀霞

稀有金属材料与工程

利用负衬底偏压和发射电子增强核化的方法,通过微波等离子体和热灯丝CVD法在Si(1∞)上合成出了高度定向的异质外延金刚石膜.并利用冷离子注入和快速退火处理技术完成P型掺杂异质外延金刚石膜的制作,研制出高灵敏度的压阻和磁阻传感器件.试验结果表明,这些器件不仅具有高灵敏度,而且在高温、高辐射和强化学腐蚀的环境下仍能正常工作.

关键词: 金刚石膜 , CVD , 压阻效应 , 磁阻效应

测试环境对碳纳米管场发射性能的影响

陈伟中 , 王蜀霞 , 贺叶露 , 陈西浩 , 杜声玖

功能材料

采用CVD法在Ni丝上直接沉积碳纳米管,并应用二极管结构对其场发射性能进行测试,测试结果表明:(1)碳管表面态对其场发射稳定性影响明显,运用密度泛函平面波赝势方法(PWP)和广义梯度近似(GGA)对碳管表面吸附水分子前后电子能带结构和态密度作比较,发现吸附水分子后碳管功函数降低,费米能级处电子态密度增大,有利于增大碳管场发射电流;(2)高真空是获得碳管场发射稳定性一个必要条件;(3)荧光粉对碳管场发射电流也有一定贡献,但大的场发射电流情形下可忽略其影响.

关键词: 碳纳米管 , 丝状阴极 , 场发射 , 密度泛函理论

表面态对碳纳米管场发射的影响

贺叶露 , 王蜀霞 , 陈伟中 , 陈西浩 , 杜声玖

材料导报

采用CVD法在Ni丝上直接沉积碳纳米管,并应用二极管结构测试表面态(突出尖端和吸附)对碳纳米管场发射的影响.测试表明,突出尖端主要影响碳纳米管场发射的开启电场以及场发射电流稳定性;吸附作用的影响表现在改变碳纳米管能带结构进而改变其场发射性能.

关键词: 碳纳米管 , 吸附 , 场发射 , 密度泛函理论

P型半导体金刚石膜的磁阻

孔春阳 , 王万录 , 廖克俊 , 王蜀霞 , 方亮 , 马勇

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.008

研究了p-型异质外延和同质外延金刚石膜的在不同温度和磁场下的磁阻,磁阻器件的结 构为条形和圆盘形。实验结果表明磁阻强烈依赖于磁场、温度和样品的几何形状,圆盘结构的磁 阻大于条形结构,条形结构的磁阻还取决于不同的长-宽比。利用F-S薄膜理论,计算磁场为 5T时条形和圆盘结构的磁阻分别为0.38和0.74,讨论了霍耳效应对磁阻的影响,给出了形状 效应的可能机制。

关键词: 磁阻 , 金刚石膜 , 形状效应 , 电导率

碳纳米管场发射薄膜发射电流变化的理论分析

饶早英 , 王蜀霞 , 梁孝云 , 杨云青 , 胡慧君 , 牛君杰

材料导报

碳纳米管薄膜具有优于传统发射器件的场发射特征,但它的场发射电流曲线只在低场区与特征曲线符合较好,在高场区偏离特征曲线.讨论了热电子发射、量子隧穿导致的位相改变对发射电流的影响,分析了场发射电流、位相的变化,解释了高场区发射电流曲线偏离的原因.

关键词: 场发射 , 热电子发射 , 势垒 , 位相变化

碳纳米管场发射阴极阵列制备研究与进展

杨云青 , 王蜀霞 , 胡慧君 , 牛君杰 , 饶早英 , 耿晓菊

材料导报

碳纳米管具有良好的电子发射特性,成为理想的场致发射阴极材料,碳纳米管阵列制备研究是碳纳米管平板显示应用的前提.介绍了碳纳米管阴极阵列制备技术如丝网印制法、CVD原位生长法、光刻法和自组织法等研究与进展,并从薄膜残留去除、CNTs膜微结构改变及sp3缺陷增加等方面概述了目前CNTs场发射性能优化的进展,指出了目前存在的问题并作了简单分析.

关键词: 碳纳米管阵列 , 场致发射 , 制备

催化剂在碳纳米管制备中的影响

耿晓菊 , 王蜀霞 , 冯明海

材料导报

催化裂解法操作简单,便于控制参数,有望成为碳纳米管连续生产的最佳方法.在催化裂解法中最重要的是催化剂,主要从催化剂的选取、制备、颗粒大小、失活等方面对碳纳米管生长速度、管径、密度、产物含量的影响进行浅析.

关键词: 碳纳米管 , 催化剂 , 生长速度 , 制备方法

一种新型保温薄膜材料-CdIn2O4的研究

王蜀霞 , 王万录 , 廖克俊

稀有金属材料与工程

研究了射频反应溅射三元化合物CdIn2O4薄膜的电学和光学性质,讨论了反应气体中氧气浓度和热处理对CdIn2O4薄膜红外反射率的影响,实验结果表明,CdIn2O4薄膜在红外区域具有很高的反射率,是一种极好的红外反射膜.用它作为冰箱内保温膜和室内及冷库保温窗玻璃,效果十分明显,是一种极好的保温和节能膜.

关键词: 光电特性 , CdIn2O4薄膜 , 射频反应溅射

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